超精磨削加工是指工件作回轉運動，用細磨粒油石作高頻短幅振動和送進運動，以很小的壓力對工件表面進行加工的一種加工方法。這種加工方法可使工件表面粗糙度減小到0.06um，但對改變加工面宏觀形狀和位置精度的能力較弱。圖1-13是用于加工外圓面的工作原理示意圖。

    砂帶磨削是以粘滿砂粒的砂帶高速回轉，陶粒砂旋窯工件緩慢轉動并作送進運動對工件進行磨削加工的加工方法通過接觸輪使砂帶與工件接觸。可以看出其磨削方式和砂輪磨削類似，但磨削效率可以很高。圖l-14(b)是砂帶直接和工件接觸（軟接觸），主要用于減小表面粗糙度的加工。由于砂帶基底質軟，接觸輪也是在金屬骨架上澆注橡膠做成，也屬軟質，所以砂帶磨有拋光性質。一高精度砂帶磨可使工件表面粗糙度減小至0.02um.

    鏡面磨削是指磨削后工件表面粗糙度可減小至O.Olum或更小的磨削加工。這種磨削方式的最大特點是不僅可以加工出表面粗糙度值很小的光整表面，移動破碎站而且亦可得到很高的形狀和位置精度。鏡面磨削對機床、砂輪粒度、硬度、修整用量及磨削用量等都有很高的要求。

    拋光是用敷有細磨粉或軟膏磨料的布輪、布盤或皮輪、皮盤等軟質工具，靠機械摩擦和化學作用，減小工件表面粗糙度的加工方法。這種加工方法去除余量通常小到可以忽略，不能提高尺寸和位置精度。