花崗石氣浮導軌的制作采用了是空氣靜壓軸承技術,因此它具有軸/徑向跳動小、重復定位精度高、加載驅動力小、能在極高轉速下平穩工作等特性.為了保證氣浮導軌具備這些性能,在選用制作材料時要求它具有以下特征:
1.導熱性要好,隨時間及空間改變,溫度隨之改變進而造成構件內部的溫度梯度,引起機器結構的扭轉和彎曲;
2.熱膨脹系數要小,避免在溫度變化下產生過大的伸長縮短;
3.要具有比較大的彈性,避免花崗石氣浮導軌在受力后出現較大的變形;
4.要有著較高的硬度及耐磨性,保證在加工及使用中都不會輕易劃傷、磨損;
5.具有較高的強度,在一定的力量范圍內不易斷裂;
6.對于運動部分的材料,在密度上要小,保證由于測量機的高速、高加速運動而產生的測量機慣性力不會造成損傷;
7.考慮材料吸水率小,以免受潮變形(質量差的花崗石,由于吸水,足以引起微米級的變形);
8.工藝性好,易于加工,成本要低.
作為超精密測量、超精密加工和半導體光刻等領域的重要應用,花崗石氣浮導軌的材料具備上述性能才能在使用中正常發揮作用.
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