在機床分類中，超精密機床和普通機床之間的差距可謂是天差地別，在普通機床上一些根本不會去關注的參數、因素，在超精密機床上卻是至關重要的影響因素了，例如機床的熱變形、力變形、定位、材料、振動等。

    機床的結構材料

    對于超精密機床來說，材料結構對其的影響是非常之大的。在過去，鑄鐵和鋼是作為機床的主力結構材料存在的，而在今后則只有普通機床才會使用它了。對于超精密機床來說，它要求構成它機身的材料性能穩定、熱變形小、振動衰減性好等諸多要求。而以往的普通材料已經不能滿足這些要求了。因此，科學家們為了滿足機床的眾多要求，研究了其他特殊材料，如天然花崗巖材料來代替使用。而日本也開發了一種陶瓷材料來制造超精密機床。

   機床的主軸機床主軸在加工時候是直接與刀具接觸，同時與工件半接觸的的重要部分，它回轉精度的好壞會直接影響到工件的加工精度，因此主軸說是超精密機床中最重要的一部分也不為過。 目前世界上的超精密機床的主軸精度最高的是空氣靜壓軸承主軸，它的回轉精度能達到0.05um，最高可達0.03um。

   直線導軌

   直線導軌作為工件和刀具相對定位的機構，是一個重要程度不比主軸低的部分。對于超精密機床上使用的直線導軌，它的要求也簡單粗暴，就是動作靈活、無爬行等不連續動作，直線精度好，有良好的剛度，發熱量小，保養維修簡單。目前超精密機床常用的直線導軌主要有滾動導軌和V-V型導軌、氣體靜壓導軌、液體靜壓導軌。這其中，又以空氣靜壓導軌為最，其直線度最高可達0.1~0.2um/250mm。

    進給和微量進給系統

    在機床進給系統中發揮著重要作用的各種進給絲桿，在超精密機床中的一般精度等級為C0。在設計上，靜壓絲桿所需要的必要裝置在滾珠絲桿上都完全用不上，因此滾珠絲桿在使用上是十分方便的，但是用在亞微米級超精密加工機床的進給絲桿則不得不考慮滾珠的轉動和滾珠間的接觸滑動的微小振動，以及同滑動絲桿等相比較存在的振動衰減性差等問題了。目前，微量進給機構廣泛應用于超精密加工機床中，它足以滿足人們對高定位精度和進給分辨率的要求。

    環境條件對于超精密加工機床來說，它所處的環境也關系著機床的加工精度質量。超精密機床對于環境條件的要求大概有三點：一是干凈，超精密機床的工作環境應滿足2000~3000級以下；二是溫度，機床必須放置在恒溫房中；對于溫度控制，可以從兩個方面入手，首先是選擇合適的部件材料，如氧化鋁陶瓷、鑄鐵、花崗巖、樹脂混凝土等。其次是保證溫度的恒定控制。三是振動，機床必須有著良好的隔振裝置。